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多晶硅铸锭的退火降温和硅锭处理

2021-06-19 22:09

本文摘要:文/史珺博士(1)热处理是指获得环境,硅片的温度以较慢的速度完全一致,维持一段时间。热处理可以避免硅片内部的变形,也可以在一定程度上避免长晶过程中不存在的晶格等缺失,使晶体不易碎片。即使长晶成功,热处理不当也不会引起硅片裂纹。对于下一步开展切片用的铸锭来说,裂当于废品。 如果意味着制备而不需要铸锭,原始硅锭也比裂纹的规定容易处理,例如上部和边皮等。因此,热处理过程意味着不容忽视,长晶已经完成,此时不能处理原文。长晶完成后,顶部温度高,必须维持温度逐渐降温。

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文/史珺博士(1)热处理是指获得环境,硅片的温度以较慢的速度完全一致,维持一段时间。热处理可以避免硅片内部的变形,也可以在一定程度上避免长晶过程中不存在的晶格等缺失,使晶体不易碎片。即使长晶成功,热处理不当也不会引起硅片裂纹。对于下一步开展切片用的铸锭来说,裂当于废品。

如果意味着制备而不需要铸锭,原始硅锭也比裂纹的规定容易处理,例如上部和边皮等。因此,热处理过程意味着不容忽视,长晶已经完成,此时不能处理原文。长晶完成后,顶部温度高,必须维持温度逐渐降温。一般来说,使电力从结晶时的电力以一定的速度上升,同时保温体上升,保温体下降时,电力也下降到最低值。

热处理温度有不同的意见。有的在1300℃开展保温,这是所谓的高温热处理,有的在1100℃左右进行热处理,被称为低温热处理。最佳热处理温度存在争议。

一般来说,当宽晶已经完成时,硅锭的顶部和底部的温度的中间值被指出,这种说法看起来很合理,但是硅从冷态变成热处理温度,从热态变成热处理温度,受到的热应力也不同。冷态加剧,热应力可能更大。

从这个角度来看,热处理温度应该在1100℃左右。热处理时间根据理论和经验,3~4小时,然后在热处理温度下保温3小时左右,然后可以开展补充冷却的自然冷却。

在补充冷却的自然冷却阶段,硅片在保温体内展开缓慢冷却,冷却体也应给予少量温度,以免温度过快。温度达到900℃后,可以恢复功率,大部分展开自然冷却。


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